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Semi-conducteurs

Un contrôle amélioré conçu pour relever les défis technologiques de pointe

La conception et la construction de technologies de pointe reposent sur des réponses rapides et fiables des fournisseurs d’équipements pour aider à répondre aux exigences des développements de la prochaine génération. Les constructeurs de machines ont besoin d’appareils compacts pour répondre à des empreintes de machines plus petites, et limiter l’accès à leur précieuse propriété intellectuelle est un facteur important pour protéger les recettes de procédés spécialisées.

Pendant le traitement, une mesure précise de la température, un contrôle précis de la chauffe et une réponse rapide aux perturbations de température sont nécessaires pour obtenir la stabilité de température, l’uniformité et la répétabilité souhaitées pour un rendement constant et de haute qualité et un débit optimisé.

Est-ce que les perturbations de température affectent votre procédé ?

Des mesures précises et une régulation de précision à action rapide sont nécessaires pour compenser les soudains changements de température dans les chambres de traitement. 

Le régulateur multiboucle Mini8 est désormais disponible avec des entrées thermocouples améliorées offrant une précision CJ de +/- 0,25°C (0,45°F).Avec jusqu’à 16 boucles de régulation PID de précision et une communication EtherCAT en temps réel, les régulateurs Mini8 offrent une stabilité de température élevée, une régulation à action rapide et répétable, et sont facilement intégrable dans les API et les systèmes plus larges.

Vous recherchez un contrôle de puissance réactif pour vos procédés de fabrication ?

Le traitement thermique rapide des plaquettes de silicium semi-conducteur nécessite une réponse de contrôle rapide pour minimiser l’impact des perturbations de température.

Le contrôleur de puissance compact EPack monophasé est désormais disponible avec la communication EtherCAT™ pour une réponse de contrôle à action rapide et une connectivité commune entre les appareils.

Le contrôleur EPack offre aux utilisateurs finaux une régulation de température précise et reproductible pour des rendements constants de haute qualité, ainsi qu’une surveillance et des diagnostics pour améliorer l’efficacité énergétique et la disponibilité.